Yarımkeçirici laboratoriyalar üçün yağsız hava kompressoru

Dəqiq tədqiqat obyektləri üçün etibarlı kommunal xətlər yaratmaq, Yarımkeçirici Laboratoriyaları üçün Çin Yağsız Hava Kompressoru təchizatçılarından qaynaq. DECHUAN-ın yüksək təmizlikli hava məhlulları iz karbohidrogenləri aradan qaldırmaq üçün çox qatlı karbon izolyasiya möhürlərindən istifadə edir və kritik silisium aşındırma üçün təmiz qaz keyfiyyətini təmin edir.

Təmiz Otaq Qazının Təmizlik Tələbləri

Yarımkeçiricilərin istehsalı və nazik təbəqəli litoqrafiyada hava xətti ilə daşınan neft buxarının bircə mikroskopik damlası belə bütün istehsal partiyasını məhv edə bilər. Bu xüsusi məhsul ən yüksək təmizlik standartlarına cavab vermək üçün hazırlanmışdır:

• TÜV Sertifikatlı Sinif 0 Hava Çatdırılması: Sistemlərimiz dəyişən iş temperaturlarında ciddi sınaqdan keçir. Müstəqil analiz çıxış hava axınında yağın tamamilə sıfır izlərini təsdiqləyir.

• Korroziyasız Daxili Hava Yolları: Sıxılma kamerasının aşağı axınındakı hər bir boru kəməri, soyuducu dəstəsi və ayırma matrisi təmiz otaq hava xətlərini pas pullarının çirklənməsinin qarşısını almaq üçün yüksək dərəcəli paslanmayan poladdan hazırlanır.

• Qabaqcıl Elektronikon® İnteqrasiyası: İnteqrasiya edilmiş nəzarətçi əməliyyat göstəricilərini yaxından izləyir və heç bir çirkli havanın laboratoriya şəbəkəsinə daxil olmamasını təmin etmək üçün proaktiv təhlükəsizlik söndürmə funksiyalarına malikdir.

Elektronikada mikro çirklənmənin yüksək qiyməti

Yarımkeçirici vafli istehsalında, bir damla yağ aerosolu bütün təmiz otaq mühitini çirkləndirə, minlərlə silikon vaflini məhv edə və milyonlarla istehsal vaxtının itirilməsinə səbəb ola bilər. Ənənəvi hava kompressorları bu nanometr miqyaslı proseslər üçün tələb olunan mütləq sıfır karbohidrogen təmizliyinə zəmanət verə bilməz.

Yarımkeçirici laboratoriyalar üçün xüsusi yağsız hava kompressoru təmiz proses təhlükəsizliyinə zəmanət verir:

• Sertifikatlaşdırılmış CLASS 0 Hava axını: Mütləq sıfır yağ mövcudluğunu təmin etmək üçün ekstremal istilik və təzyiq diapazonlarında TÜV tərəfindən ciddi şəkildə sınaqdan keçirilmişdir.

• Hissəciksiz daxili hissələr: Paslanmayan poladdan qabaqcadan soyuducular və ulduzlu istilik dəyişdiriciləri hava yolunda oksidləşmə lopalarını və ya kimyəvi tökülmələri aradan qaldırır.

• Elektron Nəzarət Qalxanı: Proaktiv texniki xidmət siqnalları və nasazlığın avtomatik dayandırılması təmiz otaq alətlərinizə çatmazdan əvvəl sistemin sapmalarının qarşısını alır.

Texniki Saflıq Parametrləri

• Sistemin Güc Qiymətləndirilməsi: 55kw - 900kw yüksək sıxlıqlı konfiqurasiyalar.

• Həcmli Çatdırılma dərəcəsi: 4,2 - 148,5 m³/dəq təmiz axın çıxışı.

• Yağ Tərkibinin Təsnifatı: ISO 8573-1 Class 0 tamamilə yağsız yoxlama.

• Soyutma Planı: Kimyəvi qazın çıxarılmasının qarşısını alan paslanmayan poladdan mayenin soyudulması.

Bölmə üçün performans istinad şərtləri ISO 1217-nin 4-cü nəşri (2009) Əlavə C-yə uyğun olaraq ölçüldü:

· Nisbi rütubət: 0%

· Mütləq giriş təzyiqi: 1 bar

· Giriş temperaturu: 20°C Boşaltma dərəcəsi (FAD) aşağıdakı iş təzyiqlərində ölçüldü:

Daimi sürət növü:

·  -7,5 bar növü: 7 bar

· -8,6 bar növü: 7 bar

· -10 bar növü: 9 bar

VSD növü:

· -8,6 bar növü: 7 bar

· -10,4 bar növü: 9 bar

· (2) İş stansiyasının A sinfi çəkili emissiya səs təzyiqi səviyyəsi (LpWSAd). ISO 2151:2004-ə uyğun olaraq ölçülür (150 9614/2 səs intensivliyinin skan üsulu ilə). Yeni əlavə edilmiş düzəliş əmsalı test koduna uyğun olan tamamilə qeyri-müəyyən dəyərdir (KpAd).

· (3) Çəki yalnız istinad üçündür; verilən faktiki çəki üstünlük təşkil edəcəkdir.

ZR/ZT 110-160 (FF) STD

ISO 1217 Əlavə C, 4-cü Buraxılış (2009)-a uyğun olaraq vahid performans istinad şərtləri aşağıdakılardır:

· Nisbi rütubət: 0%

· Mütləq giriş təzyiqi: 1 bar

· Giriş temperaturu: 20°C

Yerdəyişmə FAD aşağıdakı iş təzyiqlərində ölçülür:

Sabit sürət modelləri:

-7,5 bar modelləri: 7 bar

-8,6 bar modelləri: 7 bar

-10 bar modelləri: 9 bar

VSD modelləri:

-8,6 bar modelləri: 7 bar

-10,4 bar modelləri: 9 bar

(2) İş stansiyasının A sinfi çəkili emissiya səs təzyiqi səviyyəsi (LpWSAd). ISO 2151:2004 (ISO 9614/2 səs intensivliyinin skan üsulu) ilə ölçülür. Yeni əlavə edilmiş düzəliş əmsalı KpAd qeyri-müəyyəndir, test koduna uyğundur.

(3) V1=380V, V2=400V.

(4) Çəki yalnız istinad üçündür; faktiki çəki üstünlük təşkil edəcəkdir.

ZR/ZT 200-275 (FF)

-Nisbi rütubət: 0%

-Mütləq giriş təzyiqi: 1bar

- Giriş temperaturu: 20°C

Boşaltma dərəcəsi (FAD) aşağıdakı iş təzyiqlərində ölçüldü

Daimi sürət növü:

-7,5 bar növü: 7 bar

-8,6 bar növü: 7 bar

-10 bar növü: 9 bar

VSD növü:

-8,6 bar növü: 7 bar

-10,4 bar növü: 9 bar

(2) İş stansiyasının A sinfi çəkili emissiya səs təzyiqi səviyyəsi (LpWSAd).

ISO 2151:2004 (150 9614/2 (səs intensivliyi skan üsulu) istifadə edərək) uyğun olaraq ölçülür.

Yeni əlavə edilmiş düzəliş əmsalı test koduna uyğun olan tamamilə qeyri-müəyyən dəyərdir (KpAd).

(3) Çəki yalnız istinad üçündür; verilən faktiki çəki üstünlük təşkil edəcəkdir.

ZR 300-750

Bölmə üçün performans istinad şərtləri ISO 1217-nin 4-cü nəşri (2009) Əlavə C-yə uyğun olaraq ölçüldü:

· Nisbi rütubət: 0%

· Mütləq giriş təzyiqi: 1 bar

· Giriş temperaturu: 20°C Boşaltma dərəcəsi (FAD) aşağıdakı iş təzyiqlərində ölçüldü:

Daimi sürət növü:

·  -7,5 bar növü: 7 bar

· -8,6 bar növü: 7 bar

· -10 bar növü: 9 bar

VSD növü:

· -8,6 bar növü: 7 bar

· -10,4 bar növü: 9 bar

· (2) İş stansiyasının A sinfi çəkili emissiya səs təzyiqi səviyyəsi (LpWSAd). ISO 2151:2004-ə uyğun olaraq ölçülür (150 9614/2 səs intensivliyinin skan üsulu ilə). Yeni əlavə edilmiş düzəliş əmsalı test koduna uyğun olan tamamilə qeyri-müəyyən dəyərdir (KpAd).

· (3) Çəki yalnız istinad üçündür; verilən faktiki çəki üstünlük təşkil edəcəkdir.

ZR 200X-400X

Bölmə üçün performans istinad şərtləri ISO 1217-nin 4-cü nəşri (2009) Əlavə C-yə uyğun olaraq ölçüldü:

· Nisbi rütubət: 0%

· Mütləq giriş təzyiqi: 1 bar

· Giriş temperaturu: 20°C Boşaltma dərəcəsi (FAD) aşağıdakı iş təzyiqlərində ölçüldü:

Daimi sürət növü:

·  -7,5 bar növü: 7 bar

· -8,6 bar növü: 7 bar

· -10 bar növü: 9 bar

VSD növü:

· -8,6 bar növü: 7 bar

· -10,4 bar növü: 9 bar

· (2) İş stansiyasının A sinfi çəkili emissiya səs təzyiqi səviyyəsi (LpWSAd). ISO 2151:2004-ə uyğun olaraq ölçülür (150 9614/2 səs intensivliyinin skan üsulu ilə). Yeni əlavə edilmiş düzəliş əmsalı test koduna uyğun olan tamamilə qeyri-müəyyən dəyərdir (KpAd).

· (3) Çəki yalnız istinad üçündür; verilən faktiki çəki üstünlük təşkil edəcəkdir.

Təmiz otaq Laboratoriyası İstifadəçi Tədqiqatı

Asiyada bir elektronika istehsalçısı yüksək təmizlikdə azot istehsal edən dövrələri və pnevmatik sınaq qollarını təmin etmək üçün DECHUAN-ın xüsusi hava sistemini quraşdırdı. Əvvəllər standart kompressorlar iz yağ buxarlarının keçmiş daxili filtrlərdən keçməsinə, litoqrafiya linzalarını örtməsinə və vafli örtüklərdə mikro qırılmalara səbəb olmasına imkan verirdi. Yarımkeçirici Laboratoriyaları üçün Yağsız Hava Kompressorunu quraşdırdıqdan sonra laboratoriya iki illik fasiləsiz əməliyyat ərzində təmiz otağın təmizlənməsi və yenidən kalibrləmə xərclərinə qənaət edərək, neftlə bağlı xətlərin sıfır çirklənməsi barədə məlumat verdi.

Xüsusi Komponent Dərzi və Nəzarət

• Paslanmayan Polad Materialın Təkmilləşdirilməsi: Biz ciddi mikro çirklənmə qaydalarına cavab vermək üçün bütün standart daxili tökmə komponentləri yüksək dərəcəli paslanmayan poladla əvəz edirik.

• Qabaqcıl Rabitə Protokolları: Vahid xüsusi rabitə protokolları ilə əvvəlcədən yüklənmişdir ki, bu da təmiz otaq idarəetmə mərkəzlərinə hava göstəricilərinə uzaqdan nəzarət etməyə imkan verir.

• Kompakt Struktur Sahə İzi: Daxili yerləşdirmə ayaq izini minimuma endirmək üçün optimallaşdırılıb və bu, sıx laboratoriya zirzəmisi kommunal məkanlarında quraşdırmanı asanlaşdırır.

Sənaye Alıcısı Tez-tez verilən suallar

S: Bu kompressoru birbaşa ultra yüksək təmizlik (UHP) filtrasiya dövrələrinə qoşa bilərikmi?

Cavab: Bəli, bizim hava çıxışımız qabaqcıl təmiz otaq quruducu quruducuları və mikronaltı hissəcik filtrasiya sistemləri ilə tam uyğundur. Xam havanın tərkibində sıfır yağ buxarı olduğundan, istifadə nöqtənizdə xüsusi filtrlər yağ dumanı ilə tıxanmayacaq və filtrin ömrünü uzadar.

S: Z tipli möhürlər dişli qurğusundan yağın sıfır miqrasiyasını necə təmin edir?

A: Yarımkeçirici Laboratoriyaları üçün Yağsız Hava Kompressoru yağla yağlanmış dişli qutusu ilə quru sıxılma kamerası arasında fiziki atmosfer havalandırma boşluğuna malikdir. İxtisaslaşdırılmış təmassız karbon halqalı möhürlər mənfi təzyiq kanalları ilə birləşdirilir və hər hansı dişli yağı dumanının təmiz hava axınına daxil olmasının tamamilə bloklanmasını təmin edir.

S: Daxili temperatur sensoru anormal göstərici aşkar edərsə nə olar?

A: Elektronikon® nəzarətçisi həyati məlumatları saniyədə bir neçə dəfə nümunə götürür. Hər hansı bir mərhələdə temperatur artımı aşkar edilərsə, sistem dərhal avtomatik söndürməni işə salır və izolyasiya klapanlarını bağlayır, beləliklə, soyudulmamış havanın heç vaxt laboratoriyanızın həssas avadanlığına aşağı axının qarşısını alır.